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山武AZBIL流量控制器MQV0050BSRN01010C
特点:
流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对于气体或者液体的流量进行测量和控制。
扩散,氧化,分子束外延,CVD,等离子刻蚀,溅射,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,
混气配气系统,毛细管测量气象色谱仪,光导纤维制造设备中。
并广泛用于石油化工。冶金,制药等。特点:精度高,重复性。
1:CMQ-V系列实现了0.3S超高速响应,在各个域得到了充分的运用?
2:精度在0.2%FS—0.5%FS;LED数字显示,产品面板上有可调节各种功能的按钮,其容易操作(另有分体式可选择,显示操作部分和控制器部分可分离)?
3:由于采用直接流量测量,因此实现了不受温度、压力变动影响的测量?
4:RS-485通讯,能于其他外部设备实现通讯
控制范围:0.2ML—1000L/MIN
精度等:0.2%FS—0.5%FS?
响应速度:0.3秒
适用介质:空气/氮气/氧气/氩气/氢气/氦气/氨气/二氧化碳/二氧化氮/城市煤气13A/甲烷/丙烷/丁烷/硫化氢/乙炔/氧化乙烯
模拟输出:0-5V、1-5V、0-20MA、4-20MA(可选)
气路连接:RC1/2;1/4、1/4;3/8VCR、1/2;1/4双卡套+外套螺母
气路材质:SUS316
通信接口:RS-485(CPL)
耐压:1.0(MPa)?
电压:24Vdc
山武AZBIL流量控制器MQV0050BSRN01010C