日本SMC铝制高真空L型阀详细说明

日本SMC铝制高真空L型阀详细说明
流体
工作温度
电导
运营压力
轮缘
主阀：常闭
O形密封圈
注2）电磁阀
阀门类型
轴封类型
阀门类型

流体操作
温度（℃）轮缘
双重行动
操作压力范围
大气压力为1×10-5 Pa
惰性气体在真空下
5至60°C（可选：5至150°C）
0.4至0.7MPaKF160
zui大800 l / s 31.5升/秒
注1）选件规格/组合
这个型号有指示器，
自动开关和K（DN）法兰选项
但是高温/加热器选项不可用。
O形密封圈
大气压力为1×10-5 Pa
惰性气体在真空下
1.3×10-9Pa·m3 / s以下*
1.3×10-9Pa·m3 / s以下*
5至60°C（可选：5至150°C）
0.4至0.6MPaKF100
操作压力（Pa）

日本SMC铝制高真空L型阀详细说明
电导（l / s）注1）
法兰式主要材料
表面处理导压力（MPa）
试点港口的大小（kg）
型号XLA（V）-16 XLA（V）-25 XLA（V）-40
常闭（加压打开，弹簧密封）
惰性气体在真空下
5〜60（高温型：5〜150）5至50
使用热敏电阻进行简单加热。 阀体可以
根据加热器加热到大约100或120°C
磁铁激活自动开关。 用2个自动开关，打开
并关闭位置被检测到，并与1自动开关，无论是
打开或关闭的位置被检测到。 自动开关适用于
只有普通的温度（5至60°C）。
选项和阀门尺寸。 热敏电阻的类型和数量
使用将取决于大小和设置温度。 在里面
高温规格的情况下，阀盖组件是一个
耐热结构。 这不适用于电磁铁的情况阀门连接。
大气压力为1×10-6
注1）常温下的值，不包括气体渗透。
注2）请参阅22页的“结构”的零件编号了解更改的零件。
数字表示相应的“施工”的零件编号。
注3）尺寸16和25的e部分（外部密封）不可更改。
在标准材料FKM的情况下：在常温下为1.3×10-10，不包括气体渗透
标准材料FKM：常温下为1.3×10-11，不包括气体渗透
本体：铝合金，波纹管：不锈钢316L，主要部分：不锈钢，FKM（标准密封材料）
外部：阳氧化内部：原材料
XLAV-16,25,40,50：SYJ319，XLAV-63,80：SYJ519
注1）常温下的值，不包括气体渗透。
注2）请参阅14页的“结构”的零件编号了解更改的零件。
数字表示相应的“施工”的零件编号
自动开关不适用于高温规格
（温度规格H0，H2，H3）。 标准导线长度为0.5米。
当需要3米时在零件编号的末尾添加“L”，1米时为“M”5米时为“Z”。