使用安全SUNX神视晶圆校准传感器

使用安全SUNX神视晶圆校准传感器

型号
GX-4S GXL-15FLUIB-R-C5 
GX-4SB GXL-15FLUI-C5 
GX-4SB-R GXL-15FLUI-R 
GX-4S-R GXL-15FLUI-R-C5 
GX-5M GXL-15FLU-R 
图片

资料
低消耗电流70mA以下
检测头和控制器的总消耗电流为70mA以下。实现光电传感器同等的低功耗。
高分辨率30μm
虽然使用红色LED作为光源，但仍然具有激光传感器同样的高，因此可实现高精度检测。
无需光轴调整
投、受光部一体型，无需繁琐的光轴调整。并且，检测距离及检测宽度可以覆盖30mm的广阔区域，可对应各种不同尺寸的晶圆。
配备系数和偏移量调整功能
模拟输出(1～5V)除了系数调整功能之外，还具备方便的偏移调整功能，可在±0.5V的范围内转换模拟电压。

使用安全SUNX神视晶圆校准传感器
用途
检测晶圆的偏心、凹陷
检测晶圆的偏心、凹陷
种类
种类
检测头
形状    检测距离    检测宽度    型号
    30mm(固定)
(注1)    30mm    HD-T1030
(注1)：    出厂时固定于安装基座状态下的值。
控制器
检测头与控制器必须配套使用。
形状    型号    输出
    HD-T1C    模拟电压
・输出电压：1～5V