简要描述:SMC传感器是采用标准的硅基半导体集成电路的工艺技术制造的,通常还将用于初步处理被测信号的部分电路也集成在同芯片上。薄膜传感器则是通过沉积在介质衬底(基板)上的相应敏感材料的薄膜形成的。
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